一個是速度傳感器RH，一個是RMG。當(dāng)這兩個RTDS放置在待測氣體中時，各種傳感器RH被加熱，并且另一個傳感器RMG被用于感測待測真空度。隨著風(fēng)速的增加，旋風(fēng)帶走的熱量越多，光學(xué)傳感器RH的溫度越低。
熱式氣體質(zhì)量流量計
根據(jù)金的熱效率，確定了加熱速度p、空氣溫差△T（TRH-TRMG）和質(zhì)量流量Q之間的關(guān)系。
P/△T=K1K2f(Q)K3K
1、K
2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的換算系數(shù)。
熱式氣體質(zhì)量流量計獨(dú)特的內(nèi)外測溫方式，克服了熱式氣體質(zhì)量流量計采用恒溫差原理測量煤的空氣量時，由于氣體中含有水、油、雜質(zhì)而造成的弊端，加重了無法測量的量。
也可用于測量濕氣體質(zhì)量流量，如礦井瓦斯抽放和送風(fēng)，通風(fēng)設(shè)備風(fēng)量（速）的實(shí)時采集。
熱式氣體質(zhì)量流量計安裝方便；故障率低；雙對檢測；減少振動。8點(diǎn)多(b6b)；輸出校正是更非線性的系統(tǒng)曲線校正
熱式氣體質(zhì)量流量計的寬量程比是100:1；流量和溫度的同時檢測和顯示；超大口徑小流量測量；其可用于泄漏檢測。
熱式氣體質(zhì)量流量計多傳感器采用專利技術(shù)“雙平衡結(jié)構(gòu)”；獨(dú)有高濕度、高溫，工作溫度高達(dá)500℃；直接質(zhì)量流量檢測，無壓力和溫度補(bǔ)償。
